Ipari megoldások
Nexiv VMZ-K6555 videó-mérőrendszer
A NEXIV VMZ-K6555 egy konfokális egységgel kiegészített CNC videó-mérőrendszer. Az új optikai mérőfej kialakításnak köszönhetően lehetővé válik a mikronos nagyságrendű Z irányú mérés. Ennek köszönhetően a NEXIV VMZ-K6555 nélkülözhetetlen eszközévé válik a félvezető gyártás termékeinek ellenőrzésére.
További információk
| Gyártó | |
|---|---|
| Felhasználás |
Leírás
NEXIV VMZ-K6555 egy konfokális egységgel kiegészített CNC video mérőrendszer. Az új optikai mérőfej kialakításnak köszönhetően lehetővé válik a mikronos nagyságrendű Z irányú mérés. Ennek köszönhetően a NEXIV VMZ-K6555 nélkülözhetetlen eszközévé válik a félvezető gyártás termékeinek ellenőrzésére.
- Mérési tartomány 350 x 550 x 150 mm (X x Y x Z)
- Optikai mérőfejbe épített spinning disc konfokális egység
- Két különböző modell:
- Type-S: 15x zoom arány 2D üzemmódban; 3x vagy 7.5x nagyítás konfokális módban
- Type-H: 12.5x zoom arány 2D üzemmódban; 15x vagy 30x nagyítás konfokális módban
- Maximális pásztázási magasság konfokális módban 1 mm
- Magasságmérés ismétlési pontossága konfokális módban akár 0.2 µm
- LED megvilágítás
- Nagy sebességű TTL lézer auto fókusz, mely alkalmas felületek letapogatására
- Nikon által szabadalmaztatott minta felismerő algoritmus a minta pozícionálásának megkönnyítésére
- CAD interfész
- Mérési bizonytalanság:
- XY MPEE1: 1.5+2.5L/1000 µm (L mm-ben megadva)
- XY MPEE2: 2.5+2.5L/1000 µm (L mm-ben megadva)
- Z MPEE1: 1+L/1000 µm (L mm-ben megadva)
Brossúra
