Elektronmikroszkópia
SC-6720 katódporlasztó
Az SC7620 egy kompakt, belépő szintű SEM porlasztó/bevonó rendszer. Az opcionális SC7620-CF szénszálas párologtató tartozékkal kombinálva ez egy ideális, olcsó SEM porlasztó és bevonó csomag.
Ezenkívül az SC7620 alapkivitelben izzító funkcióval van felszerelve, amely alkalmassá teszi a szénbevonatú TEM rácsok hidrofilizálására (nedvesítésére) és más felületi módosításokra.
További információk
| Gyártó | |
|---|---|
| Felhasználás |
Leírás
- Egyszerű működtetés
- Kompakt kialakítás
- Izzó kisülés képesség
- Szénszálas párologtatás opció
- Állítható magasságú munkaasztal
- Könnyen cserélhető bevonó anyagok – arany / palládium (Au / Pd) szabvány
Könnyű működtetés:
Az SC7620 ideális a költségtudatos felhasználók számára, akik megkövetelik a vékony film jó minőségű lerakását egy adott felületre. A szokásos alkalmazásokhoz tervezett készülék alapvetően magnetron szórófejet használ, egyszerűen cserélhető anyagokkal. (alapkivitelben arany / palládium). A porlasztófej csuklósan van rögzítve a könnyű működtetés érdekében, és elektromos biztonsági reteszekkel van felszerelve. A panelre szerelt kapcsoló lehetővé teszi a rendszer egyszerű váltását a porlasztás és az izzítás módjai között.
A véletlen sérülések elkerülése érdekében a nagyfeszültségű vezetéket árnyékolják. A plazmaáram úgy választható meg, hogy a vákuumszintet az argongáz megfelelő adagolásának segítségével állítják be. A plazmafeszültség előre beállítva. A porlasztás maximális hatékonysága érdekében a gázbefecskendező rendszer biztosítja, hogy az argon gáz a plazma kisülés közelében kerüljön a kamrába.
Szivattyúzási követelmény:
Megfelelő rotációs vákuumszivattyú szükséges. A Pfeiffer DUO6 5 m3 / órás kétfokozatú vákuumszivattyú ideális erre a célra.
Gyors ciklusidők, állítható magasságú munkaasztal:
A 100 mm / 4 ” átmérőjű Pyrex henger alumínium gallérra van felszerelve és O-gyűrűkkel lezárva. A kis vákuumkamra mérete biztosítja, hogy a szivattyúzási- és a ciklusidő gyors, lehetővé teszi egy kis, gazdaságos szivattyú használatát is.
A munkaasztal állítható magasságú és könnyen eltávolítható, hogy nagyobb mintákat is el lehessen helyezni. A leválasztási sebességet manuálisan vezérelhetjük egy 180 másodperces időzítő segítségével, 15 másodperces felbontással. A nyomást és a plazmaáramot analóg mérőkkel figyelhetjük.
Porlasztás és SEM bevonat készítése szénnel (opció):
Az SC7620 bevonatot készít a volfrámszálú SEM-ekkel való használatra. Előnye az egyszerű működés, biztosítva a megbízhatóságot és az általános felhasználhatóságot. Gyorsan átalakítható bevonatolásra egy opcionális szén-párologtató feltét hozzáadásával, amely egy állítható feszültségű tápegységből és egy szénszál fejből áll (lásd: SC7620-CF).
A szenezőhöz további üveghenger tartozik. Ez magasabb, mint a normál porlasztó bevonó henger, és biztosítja, hogy a szénszál és a minták közötti távolság optimális legyen a párolgási folyamathoz.
Porlasztás és SEM bevonat készítése szénnel (opció):
Az SC7620 bevonatot készít a volfrámszálú SEM-ekkel való használatra. Előnye az egyszerű működés, biztosítva a megbízhatóságot és az általános felhasználhatóságot. Gyorsan átalakítható bevonatolásra egy opcionális szén-párologtató feltét hozzáadásával, amely egy állítható feszültségű tápegységből és egy szénszál fejből áll (lásd: SC7620-CF).
A szenezőhöz további üveghenger tartozik. Ez magasabb, mint a normál porlasztó bevonó henger, és biztosítja, hogy a szénszál és a minták közötti távolság optimális legyen a párolgási folyamathoz.
